13) 净化单元采用美国AAF生产的百级高效无隔板高效空气过滤器，过滤效率大于99.999%。过滤性能稳定，抗老化、经久耐用，同时体积小，重量轻，可控性强。···

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顶部为空气净化系统，四周以高透明度的防静电塑胶垂帘围护。工作时顶部的风机吸入环境空气，经空气净化系统过滤成为洁净空气，再以层流的方式送入工作区域。同时使工作区域内保持正压，以阻止外部空间的尘埃粒子进入工作区域。···

洁净层流床罩是通过空气过滤系统对罩内局部空气进行净化处理，再以层流的方式送入工作区域，同时使工作区域内保持正压，以阻止外部空间的尘埃颗粒进入工作区域，以维持罩内空气的洁净度。···